【真空鍍膜機(jī)電控柜的操作】1,、玻璃真空鍍膜機(jī)開水泵,、氣源2,、開總電源3、開維持泵,、真空計(jì)電源,，真空計(jì)檔位置V1位置，等待其值小于10后,，再進(jìn)入下一步操作,。約需5分鐘。4,、開機(jī)械泵,、予抽，開渦輪分子泵電源,、啟動(dòng)，真空計(jì)開關(guān)換到V2位置,，抽到小于2為止,，約需20分鐘。5,、觀察渦輪分子泵讀數(shù)到達(dá)250以后,，關(guān)予抽，開前機(jī)和高閥繼續(xù)抽真空,，抽真空到達(dá)一定程度后才能開右邊的高真空表頭,，觀察真空度。真空到達(dá)2×10-3以后才能開電子qiang電源。真空鍍膜機(jī)廠家排名,。山西光學(xué)薄膜射頻離子源廠家

【真空鍍膜機(jī)清洗工藝之紫外線輻照清洗】利用紫外輻照來分解表面上的碳?xì)浠衔?。例如，在空氣中照?5h就可產(chǎn)生清潔的玻璃表面,。如果把適當(dāng)預(yù)清洗的表面放在一個(gè)產(chǎn)生臭氧的紫外線源中．要不了幾分鐘就可以形成清潔表面（工藝清潔),。這表明臭氧的存在增加了清潔速率。其清洗機(jī)理是：在紫外線照射下,，污物分子受激并離解,，而臭氧的生成和存在產(chǎn)生高活性的原子態(tài)氧。受激的污物分子和由污物離解產(chǎn)生的自由基與原子態(tài)氧作用．形成較簡單易揮發(fā)分子．如H203,、CO2和N2．其反應(yīng)速率隨溫度的增加而增加,。山西光學(xué)鍍膜射頻離子源價(jià)格成都國泰真空鍍膜機(jī)怎么樣？

【真空鍍膜機(jī)檢漏之氣壓檢漏】氣壓檢漏被檢零部件內(nèi)腔充以氣體(一般為空氣),，充氣壓力的高低視零部件的強(qiáng)度而定,，一般為(2~4)×105帕。充壓后的零部件如發(fā)出明顯的嘶嘶聲,，音響源處就是漏孔位置,。用這種方法可檢較小漏率為5帕·升/秒的漏孔。如不能用聲音直接察覺漏孔,，則用皂液涂于零部件可疑表面處,，有氣泡出現(xiàn)處便是漏孔位置。用這種方法較小可檢漏率為5×10-3帕·升/秒的漏孔,。此外,，還可將充氣的零部件浸在清凈的水槽中，氣泡形成處便是漏孔位置,。用水槽顯示漏孔,，方便可靠，并能同時(shí)全部顯示出漏孔位置,。如氣泡小,、成泡速度均勻、氣泡持續(xù)時(shí)間長,，則為×10-2~13帕·升/秒漏率的漏孔,。如氣泡da、成泡持續(xù)時(shí)間短,，則為13~103帕·升/秒漏率的漏孔,。

【真空鍍膜之磁控濺射】在陰極靶表面形成一正交電磁場，在此區(qū)電子密度高,，進(jìn)而提高離子密度,，使得濺鍍率提高(一個(gè)數(shù)量級(jí)),，濺射速度可達(dá)0.1—1um/min膜層附著力較蒸鍍佳，是目前實(shí)用的鍍膜技術(shù)之一,。其它有偏壓濺射,、反應(yīng)濺射、離子束濺射等鍍膜技術(shù)濺鍍機(jī)設(shè)備與工藝濺鍍機(jī)由真空室,，排氣系統(tǒng),，濺射源和控制系統(tǒng)組成。濺射源又分為電源和濺射qiang（sputtergun）,。磁控濺射qiang分為平面型和圓柱型,，其中平面型分為矩型和圓型，靶材料利用率30-40%,，圓柱型靶材料利用率>50%濺射電源分為：直流（DC）,、射頻（RF）、脈沖（pulse）,，直流：800-1000V（Max）導(dǎo)體用,，須可災(zāi)弧。射頻：13.56MHZ,，非導(dǎo)體用,。脈沖：泛用，新發(fā)展出真空鍍膜機(jī)的工作原理和構(gòu)成,。

本申請(qǐng)中涉及的一種射頻離子源離子束束徑控制裝置具體包括一真空腔體5,、控制器6以及設(shè)于真空腔體5中的離子束發(fā)生器7、束徑約束器0和驅(qū)動(dòng)器8,，該束徑約束器0即采用葉片2進(jìn)行光闌3大小調(diào)整的束徑約束器0,，該束徑約束器0設(shè)置在離子束發(fā)生器7前端，驅(qū)動(dòng)器8與束徑約束器0的驅(qū)動(dòng)機(jī)構(gòu)相連以控制驅(qū)動(dòng)機(jī)構(gòu)動(dòng)作,，控制器6分別與束徑約束器0及驅(qū)動(dòng)器8相連,。本實(shí)施例中，真空腔體5的真空度×10-3pa以上,，驅(qū)動(dòng)器8為微型電機(jī),，離子束發(fā)生器7包括離子束發(fā)生器外壁71以及位于離子束發(fā)生器外壁71內(nèi)并位于離子束前端的平面柵網(wǎng)72，控制器6為計(jì)算機(jī),，在計(jì)算機(jī)中編寫matlab控制代碼,，通過代碼程序執(zhí)行，微型電機(jī)啟動(dòng),，并控制驅(qū)動(dòng)機(jī)構(gòu)動(dòng)作,，也即對(duì)伺服電機(jī)45進(jìn)行控制,，伺服電機(jī)45使用絕對(duì)式編碼器進(jìn)行定位,，伺服電機(jī)45驅(qū)動(dòng)齒輪44轉(zhuǎn)動(dòng)并通過齒圈43帶動(dòng)滑環(huán)41旋轉(zhuǎn)，滑環(huán)41旋轉(zhuǎn)時(shí)，通過導(dǎo)槽42帶動(dòng)葉片2繞固定軸23轉(zhuǎn)動(dòng),，從而使葉片2的尾端22相交組成的光闌3的孔徑大小發(fā)生變化,，也即實(shí)現(xiàn)離子束束徑的調(diào)節(jié)，**后將光闌3的孔徑大小信息反饋給計(jì)算機(jī),。束徑約束器0采用附圖中的設(shè)置方向時(shí),，滑環(huán)41順時(shí)針旋轉(zhuǎn)時(shí)，光闌3孔徑減小,，滑環(huán)41逆時(shí)針旋轉(zhuǎn)時(shí),，光闌3孔徑變大。成都真空鍍膜機(jī)的生產(chǎn)廠家,。北京離子束刻蝕射頻離子源

射頻離子源采用高頻電場來加速和離子化氣體分子,，產(chǎn)生高能離子束。山西光學(xué)薄膜射頻離子源廠家

【真空鍍膜技術(shù)專業(yè)詞匯】真空鍍膜vacuumcoating：在處于真空下的基片上制取膜層的一種方法,?；瑂ubstrate：膜層承受體。試驗(yàn)基片testingsubstrate：在鍍膜開始,、鍍膜過程中或鍍膜結(jié)束后用作測量和（或）試驗(yàn)的基片,。鍍膜材料coatingmaterial：用來制取膜層的原材料。蒸發(fā)材料evaporationmaterial：在真空蒸發(fā)中用來蒸發(fā)的鍍膜材料,。濺射材料sputteringmaterial：有真空濺射中用來濺射的鍍膜材料,。膜層材料(膜層材質(zhì))filmmaterial：組成膜層的材料。蒸發(fā)速率evaporationrate：在給定時(shí)間間隔內(nèi),蒸發(fā)出來的材料量,除以該時(shí)間間隔濺射速率sputteringrate：在給定時(shí)間間隔內(nèi),濺射出來的材料量,除以該時(shí)間間隔,。沉積速率depositionrate：在給定時(shí)間間隔內(nèi),沉積在基片上的材料量,除以該時(shí)間間隔和基片表面積,。鍍膜角度coatingangle：入射到基片上的粒子方向與被鍍表面法線之間的夾角。山西光學(xué)薄膜射頻離子源廠家

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