高致密性陶瓷真空吸盤(多孔陶瓷真空吸盤),，特殊的多孔陶瓷材料其孔徑為2~3微米,，不易阻塞真空力大,，部份面積吸附,同時(shí)也可作氣浮平臺(tái)，廣泛應(yīng)用半導(dǎo)體,、面板,、雷射制程及非接觸線性滑軌。多孔陶瓷真空吸盤是密封的空氣來(lái)維持傳輸,，裝置應(yīng)用用于平坦,，無(wú)孔表面的工作平臺(tái)。使用者通常是機(jī)器操作員。在金屬加工領(lǐng)域,，這是一項(xiàng)安全可靠的工件傳輸,。自動(dòng)化搬運(yùn)、對(duì)象吸取,、定位,、精密網(wǎng)板印刷用工作臺(tái)，利用孔洞透氣性陶瓷(氧化鋁或碳化硅)接上真空吸力,，將工作物（包括晶圓、玻璃,、PET膜或其他薄型工作物）放置陶瓷工作吸盤上,，利用真空吸力使工作物固定，進(jìn)行清洗,、切割,、研磨、網(wǎng)版印刷及其他加工程序,。微孔真空陶瓷工作盤是各種半導(dǎo)體片生產(chǎn)過(guò)程中用于吸附及承載的**工具,，應(yīng)用于減薄、劃片,、清洗,、搬運(yùn)等工序。Fountyl公司生產(chǎn)的工作盤可以和日本,、德國(guó),、以色列、美國(guó)及國(guó)產(chǎn)的設(shè)備配套使用,，具有優(yōu)越的性能價(jià)格比,。經(jīng)過(guò)摻入高溫（１5００℃）的溶蝕粘結(jié)物.揭陽(yáng)原裝微孔陶瓷真空吸盤上門服務(wù)

種微孔真空吸盤工作臺(tái)的制作方法

【技術(shù)領(lǐng)域】

[0001]本實(shí)用新型涉及一種微孔真空吸盤工作臺(tái)，屬于機(jī)械設(shè)備領(lǐng)域,。

【背景技術(shù)】

[0002]劃片刀用于精密加工,，由于它的損耗速度非常快,，因此需求量非常大,。生產(chǎn)劃片刀需要使用晶圓劃片機(jī)，目前我國(guó)*有少數(shù)的幾家工廠擁有這種設(shè)備,，在生產(chǎn)過(guò)程中發(fā)現(xiàn),，現(xiàn)有技術(shù)的晶圓劃片機(jī)的工作臺(tái)壽命較短，由于其結(jié)構(gòu)的不合理通常I?6個(gè)月即會(huì)變形,，在生產(chǎn)過(guò)程中,，隨溫度變化也會(huì)變形加快。

【實(shí)用新型內(nèi)容】

[0003]本實(shí)用新型的目的在于,，提供一種微孔真空吸盤工作臺(tái),，它能夠解決現(xiàn)有技術(shù)的不足,，提供一種結(jié)構(gòu)更合理，使用壽命更長(zhǎng)的工作臺(tái),。揭陽(yáng)原裝微孔陶瓷真空吸盤上門服務(wù)廣泛應(yīng)用于半導(dǎo)體,、磁性材料、電子行業(yè),。

2,、工業(yè)高溫窯爐

氧化鋁陶瓷具有優(yōu)異的耐高溫、熱穩(wěn)定性好,、熱導(dǎo)率低,、熱容小、耐機(jī)械振動(dòng)等性能,，導(dǎo)熱系數(shù)和容重分別只有傳統(tǒng)耐火材料的1/10和1/15,，綜合性能好，是理想的節(jié)能增效耐火材料,，用于工作溫度高于1400 ℃的鋼鐵工業(yè)各種熱處理爐,，陶瓷燒成窯，石油化工中的裂解爐,、燃燒爐等的隔熱爐襯材料,。

氧化鋁陶瓷應(yīng)用于固體火箭發(fā)動(dòng)機(jī)噴管,，使噴管設(shè)計(jì)**簡(jiǎn)化,，部件數(shù)量減少50%，質(zhì)量減輕50%,。也可應(yīng)用于航天飛機(jī)的隔熱材料,，美國(guó)“哥倫比亞”號(hào)航天飛機(jī)隔熱板襯墊用的是Saffil氧化鋁陶瓷，能經(jīng)受1600 ℃的高溫,。

4,、陶瓷基復(fù)合材料

采用**度、高彈性的氧化鋁陶瓷與陶瓷基體復(fù)合技術(shù),，能制備韌性優(yōu)良的陶瓷基復(fù)合材料,，可明顯提高陶瓷產(chǎn)業(yè)的技術(shù)水平，帶動(dòng)高技術(shù)陶瓷產(chǎn)業(yè)的迅速發(fā)展,。

吸音材料多孔陶瓷具有連通開(kāi)氣孔,，當(dāng)聲波傳入時(shí)，在很小的氣孔內(nèi)受力振蕩,。振動(dòng)受到的摩擦和阻礙,，使聲波傳播受到，導(dǎo)致聲音衰減，從而起到吸音的作用,。是一種消除噪聲公害,，益于人們身心健康的好材料。作為吸音材料的多孔陶瓷要求較小的孔徑(20～150/um),，相當(dāng)高的氣孔率(>60%)及較高的機(jī)械強(qiáng)度,。陶瓷所具有的優(yōu)良的耐火性和耐候性，使它可用于變壓器,、道路,、橋梁等的隔音。現(xiàn)在已在高層建筑,、隧道,、地鐵等防火要求極高的場(chǎng)合及電視發(fā)射中心、影劇院等有較高隔音要求的場(chǎng)合使用,，效果很好。隱身材料多孔陶瓷吸波涂料是一種研制較多的吸波材料,，它比鐵氧體,、復(fù)合金屬粉末等吸波涂料的密度低、吸波性能好,，而且還可以有效地減弱紅外輻射信號(hào),。另外，多孔陶瓷具有良好的力學(xué)性能,、熱物理性能和化學(xué)穩(wěn)定性,，能滿足隱身的要求。的F-117隱身飛機(jī)的尾噴管就使用了多孔陶瓷基吸波材料達(dá)到飛機(jī)隱身的目的,。研磨后的表面光滑平整,，可替代國(guó)外進(jìn)口材料.

高純型氧化鋁陶瓷系A(chǔ)l2O3含量在99．9%以上的陶瓷材料，由于其燒結(jié)溫度高達(dá)1650—1990℃,，透射波長(zhǎng)為1～6μm,，在電子工業(yè)中可用作集成電路基板與高頻絕緣材料。

 氧化鋯陶瓷呈白色,，含雜質(zhì)時(shí)呈黃色或灰色,，一般含有HfO2，不易分離,。在常壓下純ZrO2共有三種晶態(tài),。氧化鋯陶瓷的生產(chǎn)要求制備高純、分散性能好,、粒子超細(xì),、粒度分布窄的粉體，氧化鋯超細(xì)粉末的制備方法很多，氧化鋯的提純主要有氯化和熱分解法,、堿金屬氧化分解法,、石灰熔融法、等離子弧法,、沉淀法,、膠體法、水解法,、噴霧熱解法等,。電子行業(yè)**微孔陶瓷真空吸盤.揭陽(yáng)原裝微孔陶瓷真空吸盤上門服務(wù)

在濕度大，有粘合液體的環(huán)境下也可以工作,。揭陽(yáng)原裝微孔陶瓷真空吸盤上門服務(wù)

一,、陶瓷的增韌方法目前，陶瓷的增韌方法主要有：相變?cè)鲰g,、顆粒增韌,、纖維增韌、自增韌,、彌散韌化,、協(xié)同增韌、納米增韌等,。1,、相變?cè)鲰g相變?cè)鲰g是指亞穩(wěn)定四方相t—ZrO2在裂紋前列應(yīng)力場(chǎng)的作用下發(fā)生一相變，形成單斜相,，產(chǎn)生體積膨脹,，從而對(duì)裂紋形成壓應(yīng)力，阻礙裂紋擴(kuò)展,，起到增韌的作用,。此外，外界條件（如激光沖擊,、疲勞斷裂韌性,、低溫、晶粒尺寸和含量,、臨界轉(zhuǎn)變能量等）對(duì)氧化鋯陶瓷相變?cè)鲰g有很大的影響,，如果相變產(chǎn)生大的應(yīng)力和體積變化，則產(chǎn)品容易斷裂,，因此生產(chǎn)過(guò)程中,，應(yīng)避免外界因素對(duì)氧化鋯陶瓷相變?cè)鲰g的影響。揭陽(yáng)原裝微孔陶瓷真空吸盤上門服務(wù)

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